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超净工作台如何校准检测的呢

时间:2021-01-08 来源:计量校准 点击:次

超净工作台如何校准检测的呢
 
1.泄漏校准方法
采用多分散DOP气溶胶(冷烟)发生器将有效DOP气溶胶(冷烟)送到空气过滤器的上侧。泄漏装置的取样器位于高效空气过滤器出口的下游侧。扫描检测在2.5厘米处进行，采样时间为47.210-5 m3/s[[83L/min]，下游浓度为5厘米时检测速度小于5厘米/s。上游浓度比大于0.01%时，认为有明显泄漏。应该停止泄漏。
2.计量检测作业区域清洁度的验证方法
具有尽可能大的流量(47.210-5 m3/s[23.3升/分钟)的尘埃粒子计数器也可以使用小的流动尘埃粒子。分柜，但作业区采样量不应少于1L。浓度稳定，位于主过滤器或整流网出口。250m(垂直层流洁净工作台)，距离平行截面中心面中心250mm，连续5次试验取平均值。
3.风速验证方法
便携式热球风速计或便携式热敏电阻。测试了恒温风速表。主过滤器或扩散板下游10厘米平面的面积应分成12个相等的部分。每个区域的中心点是风速测量点。每个测试点之间的距离不应大于25厘米。根据每个测试点的风速计算风的横截面算术平均值。
4.噪声验证方法
洁净工作台的噪声测试点应放在工作台的中心。距离前缘20 cm，高度110 cm，相当于操作者。坐在耳朵位置。声级计附近1米内不应有人。他反映。噪声应符合第1 (4)段的要求。
5.振动验证方法
振动频率为2 Hz  ~ 500 Hz，位移为0。LPM振动分析~1.5mm，加速度0.01g~将振动传感器放在工作面的几何中心，测量x、y、z三个轴的总振幅。
6.照明验证方法
测量点布置在洁净工作台的横向中心线上，并均匀分布。设三个点，用测光表测量，以算术平均值为超级清洁器。桌子的照明。

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